集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额 |
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标准编号:db31/ 506-2020 |
标准状态:现行 |
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标准价格:16.0 元 |
客户评分: |
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本文件规定了集成电路晶圆制造过程的单位产品能源消耗(以下简称能耗)限额的技术要求、统计范围、计算方法、节能管理与措施。
本文件适用于集成电路晶圆制造企业单位产品能耗的计算与考核,以及对新建及改扩建项目的能耗控制。
本文件不适用于12英寸40 nm及以下工艺制程的集成电路制造企业 |
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英文名称: |
the norm of energy consumption per unit product of wafer fabrication in integrated circuits |
替代情况: |
替代db31/ |
中标分类: |
能源、核技术>>能源、核技术综合>> |
ics分类: |
>>27.010能源和热传导工程综合 |
发布部门: |
上海市市场监督管理局 |
发布日期: |
2020-09-25 |
实施日期: |
2020-12-01
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提出单位: |
上海市发展和改革委员会、上海市经济和信息化委员会 |
归口单位: |
上海市能源标准化技术委员会 |
起草单位: |
上海市集成电路行业协会、上海市能效中心、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力微电子有限公司、台积电(中国)有限公司等 |
起草人: |
陶金龙、闵钢、秦宏波、石建宾、杨晓春、张大炜、范晶、姚弘珏、翟静、陈勇、陈继红 |
页数: |
12页 |
出版日期: |
2020-11-01 |
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客服中心 |
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